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校准检定
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例句：
1
Study
on
Technology for
Calibrating
Film
Thickness
Measurement
Instrument
in Semiconductor Manufacture
大规模集成电路
膜
厚
测量
仪器
校准
检定
初步
探索
2
Test
Method
for
Verifying
the
Alignment
of
X
-
Ray
Diffraction
Instrumentation
for
Residual
Stress
Measurement
残余
应力
测量
用
X
射线
衍射
仪
校准
检定
的
测试
方法
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