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psnf
多晶硅纳米薄膜
【摘要】：
多晶硅纳米薄膜
(
PSNF
)因其良好的压阻特性,有着广阔的应用前景,本文为PSNF在压阻式压力传感器上得到更好的应 …
倘
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